CN 41-1243/TG ISSN 1006-852X

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电镀金刚石线锯使用性能的试验研究

张晨政 葛培琪 陈自彬 郑楚夕 毕文波

张晨政, 葛培琪, 陈自彬, 郑楚夕, 毕文波. 电镀金刚石线锯使用性能的试验研究[J]. 金刚石与磨料磨具工程, 2021, 41(6): 74-79. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2021.6.0013
引用本文: 张晨政, 葛培琪, 陈自彬, 郑楚夕, 毕文波. 电镀金刚石线锯使用性能的试验研究[J]. 金刚石与磨料磨具工程, 2021, 41(6): 74-79. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2021.6.0013
ZHANG Chenzheng, GE Peiqi, CHEN Zibin, ZHENG Chuxi, BI Wenbo. Experimental analysis on application performance of electroplated diamond wire saw[J]. Diamond & Abrasives Engineering, 2021, 41(6): 74-79. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2021.6.0013
Citation: ZHANG Chenzheng, GE Peiqi, CHEN Zibin, ZHENG Chuxi, BI Wenbo. Experimental analysis on application performance of electroplated diamond wire saw[J]. Diamond & Abrasives Engineering, 2021, 41(6): 74-79. doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2021.6.0013

电镀金刚石线锯使用性能的试验研究

doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2021.6.0013
基金项目: 

山东省重点研发计划(2019JZZY020209,2019GGX104007)。

国家自然科学基金(51775317)

详细信息
    作者简介:

    张晨政,男,1996年生,硕士研究生。主要研究方向:金刚石线锯技术。E-mail: zcz0520@qq.com

    通讯作者:

    葛培琪,男,1963年生,教授。主要研究方向:金刚石线锯技术。E-mail: pqge@sdu.edu.cn

  • 中图分类号: TG74;TQ153

Experimental analysis on application performance of electroplated diamond wire saw

  • 摘要: 为评价电镀金刚石线锯的使用性能,搭建恒力进给式金刚石线锯性能评价试验机,对编号为Ⅰ、Ⅱ的2种基体直径相同的电镀金刚石线锯进行单晶硅切片试验,记录切片时间,计算锯切效率,利用粗糙度仪、光学显微镜、扫描电子显微镜分别测量硅片表面粗糙度、锯缝宽度及锯丝表面磨粒脱落率。试验结果表明:金刚石线锯性能评价试验机能够定量评价电镀金刚石线锯的使用性能;Ⅰ号线锯的锯切效率比Ⅱ号线锯的高13.6%;用Ⅱ号线锯切片得到的硅片走丝方向、进给方向的表面粗糙度分别比用Ⅰ号线锯的小17.5%、10.8%;Ⅰ号线锯的锯缝宽度比Ⅱ号线锯的小3.8%;Ⅱ号线锯的使用寿命比Ⅰ号线锯的长;Ⅰ号线锯的磨粒脱落率是Ⅱ号线锯的2.1倍。

     

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出版历程
  • 修回日期:  2021-08-09
  • 网络出版日期:  2022-04-07

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