不同材质磨盘对蓝宝石晶片研磨性能的影响

史林峰; 韩雪; 郜永娟; 李克华; 苏鸿良; 赵秀香; 刘权威

doi:10.13394/j.cnki.jgszz.2017.1.0016

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不同材质磨盘对蓝宝石晶片研磨性能的影响

doi: 10.13394/j.cnki.jgszz.2017.1.0016

1. 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司, 郑州 450001;
2. 超硬材料磨具国家重点实验室, 郑州 450001

详细信息

作者简介:
史林峰,男,1987年生,研究生、工程师。主要研究方向:树脂超硬磨具。E-mail:shijiazhijuechang@163.com

中图分类号: TG74
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出版历程
- 修回日期: 2016-12-03
- 网络出版日期: 2022-07-12

Effect of different disc materials on sapphire wafer lapping process

1. Zhengzhou Research Institute for Abrasives & Grinding Co., Ltd., Zhengzhou 450001, China;
2. State Key Laboratory of Superhard Abrasives, Zhengzhou 450001, China

摘要

摘要: 从实际生产加工的角度，研究磨盘材质和研磨磨料对蓝宝石晶片加工效果的影响。以实际生产工艺进行实验，比较铸铁磨盘、陶瓷复合盘、树脂铜盘和聚氨酯研磨布在使用B₄C或金刚石研磨液时的加工效果、成品率和研磨效率。结果显示：经聚氨酯研磨布研磨的蓝宝石晶片，其表面质量最好，为R_a0.058μm；陶瓷复合盘的研磨效率最高，达到0.305μm/min，且成品率可保持在96.08%。如粗糙度要求较高（R_a ≤ 0.06μm），则建议使用聚氨酯研磨布搭配金刚石研磨液；如果更强调成本和效率（粗糙度要求R_a ≤ 0.08μm），建议使用陶瓷复合盘搭配B₄C研磨液。
- 表面粗糙度 /
- 成品率 /
- 研磨效率 /
- 铸铁磨盘 /
- 陶瓷复合盘 /
- 树脂铜盘 /
- 聚氨酯研磨布
Abstract: Influence of disc material and abrasive on lapping effect of sapphire wafer is analyzed based on actual machining.Lapping effect,product yield and lapping efficiency are compared when using cast iron disc(CID),ceramic compound disc(CCD),resin-copper disc(RCD)and polyurethane cloth(PUC)with B₄C or diamond slurry.The results show that surface quality of sapphire wafer lapped by PUC is best,R_a0.058μm,and that the lapping efficiency of CCD is highest,0.305μm/min with product yield at 96.08%.In conclusion,PUC and diamond slurry are recommended when requiring higher surface quality,such as R_a ≤ 0.06μm,while CCD with B₄C slurry is better if more emphasis is put on cost and efficiency(R_a ≤ 0.08μm).
- surface roughness /
- product yield /
- lapping efficiency /
- cast iron disc /
- ceramic compound disc /
- resin-copper disc /
- polyurethane cloth